fs4001小流量(liàng)氣體質量流量(liang)傳感器

産品時(shi)間：2025-12-01

簡要描述：

siargo ltd fs4001小(xiao)流量氣體質量(liang)流量傳感器是(shì)專門爲各類小(xiǎo)流量❌氣體的測(cè)量和過程控制(zhi)而設計的。這一(yi)系列傳感器均(jun1)采用本公司自(zi)主研發的微機(ji)電系統（MEMS）流量傳(chuán)感芯🐕片來制作(zuò)，适用👈于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用(yong)于各類管徑，成(cheng)本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力(lì)補償，可替代容(róng)積式或壓差式(shi)的傳統流量傳(chuán)感器。

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fs4001小流量氣體(ti)質量流量傳感(gǎn)器

産品特點：傳感器靈敏(min)度高,有極小的(de)始動流量傳感(gan)器芯片采用熱(re)質量流量計量(liàng),無需溫度壓力(lì)補償,保證了傳(chuán)感器的高精度(du)計量在👈單個芯(xin)片上實現了多(duo)傳感器集成,使(shǐ)傳感器的量程(chéng)比大大提高傳(chuan)感器的🚶‍♀️零點穩(wen)定度高全量程(chéng)高穩定性全量(liang)程😄高精确度🚶和(hé)優良的重複性(xing)低功耗💋低壓損(sǔn)響應時間快.
fs4001小流量氣體(ti)質量流量傳感(gǎn)器 主要參數：

性(xing)能參數	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程(chéng)比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shi)	線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械(xie)接口	可拆式軟(ruan)管接頭
校準方(fāng)式	空氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g