FS4001系列實驗(yàn)室氣體流量傳感(gǎn)器
産品時間：2025-12-01
簡要(yào)描述：
FS4001系列實驗室(shi)氣體流量傳感器(qì)适用于各類清潔(jie)氣體。*的封裝技🤞術(shù)使之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易安(an)裝、不🏒需要溫度壓(yā)力補償，可替代容(róng)積式或壓差式的(de)傳統流量傳感器(qì)。
産品(pǐn)簡介：
FS4001系列實驗室(shi)氣體流量傳感器(qì) 是專門爲各(ge)類小流量氣體的(de)測量和過程控制(zhì)而設計的。這一系(xi)列傳感器均采用(yòng)本公司自主研發(fā)🔴的微機電系統（ MEMS
FS4001系列實驗(yan)室氣體流量傳感(gan)器
産品特點：
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傳(chuan)感器靈敏度高
,
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傳感器(qì)芯片采用熱質量(liàng)流量計量
,
,
保證了傳
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,
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傳感器的零點穩(wěn)定度高
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全量(liang)程高穩定性
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低功耗
低壓損
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性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
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SLPM |
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量程比 |
>100：1 |
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精 度 |
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% |
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重複(fú)性 |
0.25 |
%讀數 |
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±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiang)應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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輸出方式 |
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350 |
300 |
pa |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
oC |
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-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結冰(bing)、無凝露） |
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校準方式 |
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重量 |
15 |
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