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氣(qi)體流量監測(ce)傳感器

産品(pin)時間:2025-12-01

簡要描(miáo)述:

FS4001系列氣體(ti)流量監測傳(chuan)感器适用于(yu)各類清潔氣(qi)體。*的封裝🔆技(jì)術使之可用(yong)于各類管徑(jing),成本低、易安(ān)裝、不需要溫(wēn)度壓力補償(chang),可替代容積(ji)式或壓差式(shì)的傳統流量(liang)傳感器。

産品簡介:

FS4001系(xì)列 氣體流量(liang)監測傳感器(qì) 是專門(men)爲各類小流(liu)量氣體的測(cè)量和過程控(kòng)制而設計的(de)。這🔞一系列傳(chuan)感器均采用(yòng)本公司自主(zhǔ)研發🙇‍♀️的微機(jī)電💜系統( MEMS )流量傳感芯(xin)片來制作。

FS4001系(xì)列 氣體流量(liàng)監測傳感器(qì) 适用于(yu)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(jì)術使之可用(yong)于各類管徑(jìng),成本低、易安(ān)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(chang),可替⛹🏻‍♀️代容積(jī)式或壓差式(shì)的傳統流量(liàng)傳感器。


産品特(te)點:
  - 傳感(gǎn)器靈敏度高(gāo) , 有極小(xiao)的始動流量(liàng)
  - 傳感器(qì)芯片采用熱(rè)質量流量計(ji)量 , 無需(xū)溫度壓力補(bǔ)償 , 保證(zhèng)了傳
  - 感(gan)器的高精度(du)計量
  - 在(zài)單個芯片上(shang)實現了多傳(chuan)感器集成 , 使傳感器(qi)的量程比大(dà)大提高
  - 傳感器的零(ling)點穩定度高(gāo)
  - 全量程(cheng)高穩定性
  - 全量程高(gāo)精确度和優(you)良的重複性(xìng)
  - 低功耗(hào)
  - 低壓損(sǔn)
  - 響應時(shi)間快

機(ji)械尺寸:


主要參(cān)數:

性能參數(shu)

FS4001

單位

通 徑

1.0

1.8

mm

大(da)流量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比(bǐ)

>100:1

 

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重複性(xìng)

0.25

%讀數

零點輸(shū)出飄移

±30

mV

輸出(chu)飄移

響應時(shi)間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

輸出方式

線(xian)性,RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc

 

大流量壓損(sǔn)

350

300

pa

大工作壓力(li)

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

存(cún)儲溫度

-20 ~ +65

oC

工作(zuo)濕度

<95%RH(無結冰(bing)、無凝露)

 

機械(xiè)接口

可拆式(shì)軟管接頭

 

空氣(qi)(或其他氣體(tǐ)),20oC,101.325kPa

 

重量

15

g

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