微小氣體流量(liang)計,MF4001氣體流量計

産(chan)品時間：2025-12-01

簡要描述(shù)：

微小氣體流量計(jì),MF4001氣體流量計是廣(guǎng)州迪川儀器儀表(biǎo)有☀️限公司專門爲(wei)各類小流量氣體(tǐ)的測量和過程控(kòng)制而設計的。這♍一(yi)系✉️列傳感器均采(cai)用本公司自主研(yan)發的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量💜傳感芯片來(lai)制作，适用于各類(lei)清潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用于(yu)各類管徑，成本低(dī)、易安裝、不需要溫(wen)度壓力補償，可替(tì)代🥵容積式或壓差(chà)式的傳統流量✨傳(chuán)感器。

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詳細介紹(shao)

微小氣體流量計(jì),MF4001氣體流量計

産品簡介：
FS4001系(xì)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shi)廣州迪川儀器儀(yí)表有限公司專門(men)爲各類小流量氣(qi)體的測量和過程(cheng)控制而設計的。這(zhè)一系列傳感器均(jun1)采用本⛷️公司自主(zhu)研發的微機電系(xi)統（ MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制作，适用(yòng)于各類清潔氣體(tǐ)。*的封⛹🏻‍♀️裝技術使之(zhī)⭐可用于各類管徑(jing)，成本低、易安裝、不(bú)需要溫☂️度壓力補(bǔ)償，可替代容積式(shì)或壓差式的傳統(tǒng)😍流量傳感器。
産品特點：微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體流(liu)量計
- 傳感器(qi)靈敏度高 ,有(you)極小的始動流量(liàng)
- 傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liang)計量 ,無需溫(wēn)度壓力補償 ,保證了傳
- 感(gan)器的高精度計量(liàng)
- 在單個芯片(pian)上實現了多傳感(gan)器集成 ,使傳(chuán)感器的量程比大(da)大提高
- 傳感(gǎn)器的零點穩定度(du)高
- 全量程高(gao)穩定性
- 全量(liang)程高精确度和優(you)良的重複性
- 低功耗
- 低壓(yā)損
- 響應時間(jiān)快
主要參數(shù)：

性能參數

單位

通徑

1.0

1.8

zui大流量(liang)

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

2132132132131231312100:1

±(1.5+0.2FS)

0.25

%讀數

零點輸出飄移(yi)

±30

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

工作電源

8~18Vdc,50mA

輸(shū)出方式

線性(xìng)， RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc

zui大流量壓損

300

zui大工作壓力

MPa

工作溫度

-20 ~ +65

機(ji)械接口

可拆(chāi)式軟管接頭

空(kong)氣（或其他氣體）， 20oC， 101.325kPa

重量

訂貨詳情請： 85628522

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